Informaçao sobre o Autor

Мурин, Д.

Edição	Seção	Título	Arquivo
Volume 53, Nº 4 (2024)	ТЕХНОЛОГИИ	Plasmochemical and Reactive Ion Etching of Gallium Arsenide in Difluorodichloromethane with Helium
Volume 53, Nº 3 (2024)	ДИАГНОСТИКА	Influence of Hydrogen Additive on Electrophysical Parameters and Emission Spectra of Tetrafluoromethane Plasma
Volume 52, Nº 6 (2023)	ДИАГНОСТИКА	PROBE AND SPECTRAL DIAGNOSTICS OF PLASMA GAS ENVIRONMENT: BCl3-Cl2
Volume 52, Nº 5 (2023)	ДИАГНОСТИКА	Electrophysical Parameters and Emission Spectra of the Glow Discharge of Difluorodichloromethane
Volume 52, Nº 1 (2023)	ДИАГНОСТИКА	Controlling Silicon Etching Parameters in RF CHF3 Plasma by Optical Emission Spectroscopy
Volume 52, Nº 1 (2023)	ДИАГНОСТИКА	Электрофизические характеристики и эмиссионные спектры плазмы тетрафторметана