Электростатическая линза для коррекции пучка ионов магнетронного источника

А. А. Терентьев; Терентьев А. А.

doi:10.31857/S0032816224020114

Электростатическая линза для коррекции пучка ионов магнетронного источника

作者: Терентьев А.А.¹
隶属关系:
1. Национальный исследовательский центр “Курчатовский институт”
期: 编号 2 (2024)
页面: 93–95
栏目: ОБЩАЯ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ТЕХНИКА
URL: https://medjrf.com/0032-8162/article/view/670202
DOI: https://doi.org/10.31857/S0032816224020114
EDN: https://elibrary.ru/QSNDBV
ID: 670202

如何引用文章

全文:

开放存取

##reader.subscriptionAccessGranted##
受限制的访问

订阅存取

详细
全文:
作者简介
参考
补充文件
统计

详细

Описаны принципиальная схема и конструкция электростатической линзы для коррекции и дополнительной фокусировки пучка, выходящего из источника ионов магнетронного типа. Представлен чертеж такой линзы.

全文:

作者简介

А. Терентьев

Национальный исследовательский центр “Курчатовский институт”

编辑信件的主要联系方式.
Email: Terentev_AA@nrcki.ru
俄罗斯联邦, 123098, Москва, пл. Академика Курчатова, 1

参考

Computer code SIMION 3D Version 7.0 Sci. Instrum. Services, Ringoes, NJ 08551, USA.

补充文件

附件文件

动作

1. JATS XML

下载

2. Fig. 1. Ion beam deflection in a magnetron source in a horizontal plane: 1 — gas discharge chamber, 2 — magnetic field, 3 — filament (cathode), 4 — exit slit, 5 — source body (anode), 6 — input pipe of the setup, 7 — ion beam.