Enviar artigo por via de e-mail Электростатическая линза для коррекции пучка ионов магнетронного источника
- Autores: Терентьев А.А.1
-
Afiliações:
- Национальный исследовательский центр “Курчатовский институт”
- Edição: Nº 2 (2024)
- Páginas: 93–95
- Seção: ОБЩАЯ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ТЕХНИКА
- URL: https://medjrf.com/0032-8162/article/view/670202
- DOI: https://doi.org/10.31857/S0032816224020114
- EDN: https://elibrary.ru/QSNDBV
- ID: 670202
Citar
Acesso aberto
Acesso está concedido
Resumo
Описаны принципиальная схема и конструкция электростатической линзы для коррекции и дополнительной фокусировки пучка, выходящего из источника ионов магнетронного типа. Представлен чертеж такой линзы.
Texto integral
Sobre autores
А. Терентьев
Национальный исследовательский центр “Курчатовский институт”
Autor responsável pela correspondência
Email: Terentev_AA@nrcki.ru
Rússia, 123098, Москва, пл. Академика Курчатова, 1
Bibliografia
- Computer code SIMION 3D Version 7.0 Sci. Instrum. Services, Ringoes, NJ 08551, USA.
Arquivos suplementares
Arquivos suplementares
Ação
1.
JATS XML
2.
Fig. 1. Ion beam deflection in a magnetron source in a horizontal plane: 1 — gas discharge chamber, 2 — magnetic field, 3 — filament (cathode), 4 — exit slit, 5 — source body (anode), 6 — input pipe of the setup, 7 — ion beam.
Baixar (499KB)
3.
Fig. 2. Divergence of the ion beam in the vertical plane.
Baixar (471KB)
4.
Fig. 3. Electrostatic diagram of the lens.
Baixar (155KB)
5.
Fig. 4. Electrostatic unit.
Baixar (186KB)
6.
Fig. 5. Lens design.
Baixar (218KB)
7.
Fig. 6. Change in beam current with deviation of voltage on the lens (a), magnetic field in the source (b).
Baixar (157KB)
