Термодинамическое моделирование осаждения никельсодержащих пленок из газовой фазы

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Проведено термодинамическое моделирование процесса осаждения из газовой фазы в системе системы Ni-O-C-H-(Ar) в интервале температур 100–800°С при давлении 0.1 Торр. Смоделирован процесс получения никельсодержащих пленок из смеси никелоцена или ацетилацетоната никеля с кислородом, а также аргоном (в качестве газа-носителя) посредством осаждения из газовой фазы. Построены соответствующие CVD-диаграммы. Показана возможность использования таких смесей для получения композитных пленок разного состава. Исследована зависимость содержания отдельных фаз. Найдено, что при соответствующих условиях в этих системах можно ожидать образование фазовых комплексов Ni + C и Ni + NiO, а также отдельных фаз Ni и NiO. Установлено, что комплекс, содержащий графит, образуется в области сравнительно низких температур. Определены области условия формирования фаз и фазовых комплексов на основе исследованных смесей.

Полный текст

Доступ закрыт

Об авторах

В. А. Шестаков

Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН

Автор, ответственный за переписку.
Email: vsh@niic.nsc.ru
Россия, Новосибирск, 630090

М. Л. Косинова

Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН

Email: vsh@niic.nsc.ru
Россия, Новосибирск, 630090

Список литературы

  1. Napari M., Huq T.N., Hoye R.L.Z., MacManus-Driscoll J.L. // InfoMat. 2021. V. 3. № 5. P. 536. doi: 10.1002/inf2.12146
  2. Wilson R.L., Macdonald T.J., Lin C.-T., et al. // RSC Adv. 2021. V. 11. P. 22199.
  3. Alessa H., Noh M.F.M., Mumthas I.N.N., et al. // Phys. Status Solidi A. 2020. V 217. P. 1900607.
  4. Yates H.M., Hodgkinson J.L., Meroni S.M.P., D. et al. // Surf. Coat. Technol. 2020. V. 385. P. 125423.
  5. Roffi T.M., Nozaki S., Uchida K. // J. Cryst. Growth. 2016. V. 451, P. 57.
  6. Sialvi M.Z., Mortimer R.J., Wilcox G.D., et al. // ACS Appl. Mater. Interfaces. 2013. V. 5. P. 5675.
  7. Maruyama T., Arai S. // Solar Energy Materials and Solar Cells 1993. V. 30. P. 257.
  8. Gagaoudakis E., Michail G., Katerinopoulou D., et al. // Mater. Sci. Semicond. Process. 2020. V. 109. P. 104922.
  9. Wilson R.L., Simion C.E., Stanoiu A., et al. // ACS Sens. 2020. V. 5. P. 1389.
  10. Zywitzki D., Taffa D.H., Lamkowski L., et al. // Electrocatalysts. Inorg. Chem. 2020. V. 59. P. 10059.
  11. Han S.W., Kim I.H., Kim D.H., et al. // Appl. Surf. Sci. 2016. V. 385. P. 597.
  12. Yin Y., Xie Y., Chen T., et al. // Ibid. 2023. V. 613. P. 155994.
  13. Patil A.R., Dongale T.D., Kamat R.K., Rajpure K.Y. // Mater. Today Commun. 2023. V. 34. P. 105356.
  14. Xia X.H., Tu J.P., Zhang J., et al. // Electrochim. Acta. 2008. V. 53. P. 5721.
  15. Krunks M., Soon J., Unt T., et al. // Vacuum. 2014. V. 107. P. 242.
  16. Пархоменко Г.П., Солован М.Н., Марьянчук П.Д. // Физика и техника полупроводников. 2018. Т. 52. № 7. С. 718.
  17. Benedet M., Barreca D., Fois E., et al. // Dalton Trans. 2023. V. 52. P. doi: 10.1039/d3dt01282d.
  18. Zywitzki D., Taffa D.H., Lamkowski L., et al. // Electrocatalysts. Inorg. Chem. 2020. V. 59, P. 10059.
  19. Kandpal S., Ezhov I., Tanwar M., et al. // Optical Materials. 2023. V. 136. P. 113494.
  20. Zharkova G.I., Dorovskikh S.I., Sysoev S.V., et al. // Surf. Coat. Technol., 2013. V. 230. P. 290.
  21. Кондратьева А.С., Александров С.Е. // Журн. прикл. химии. 2016. Т. 89. Вып. 9. С. 1108.
  22. Shestakov V.A., Kosyakov V.I., Kosinova M.L. // Russ. J. Inorg. Chem. 2020. V.65. P. 898. [Шестаков В.А., Косяков В.И., Косинова М.Л. // Журн. неорган. химии. 2020. Т. 65. C.829.] https://doi.org/10.7868/S0044457X1806017X
  23. Шестаков В.А., Косинова М.Л. // Изв. АН. Сер. хим. 2021. № 2. С. 283. [Shestakov V.A., Kosinova M.L. // Russ. Chem. Bull., Int. Ed. V. 70. № 2. P. 283.] https://doi.org/10.1007/s11172-021-3083-9
  24. Шестаков В.А., Косинова М.Л. // Журн. неорган. химии. 2021. Т. 66. № 11. С. 1585 [Shestakov V.A., Kosinova M.L. // Russ. J. Inorg. Chem. 2021. V. 66. P. 1703.] https://doi.org/10.31857/S0044457X21110155.
  25. Шестаков В.А., Яковкина Л.В., Кичай В.Н. // Там же. 2022. Т. 67. № 12. С. 1746. https://doi.org/10.31857/S0044457X22600608
  26. Kuznetsov F.A., Titov V.A. // Proc. Int. Symp. on Advanced Materials (September 24–30, 1995). Jpn., P. 16–32.
  27. Термодинамические свойства индивидуальных веществ. / Под ред. Глушко В.П. и др. М.: Наука, 1988. Т. 3. Кн. 2. 395 с.
  28. Кузнецов Ф.А., Буждан Я.М., Коковин Г.А. // Изв. СО АН СССР. Сер. хим. наук. 1975. № 2. Вып. 1. С. 24.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать
2. Рис. 1. CVD-диаграмма системы Ni(C5H5)2 + nO2 + Ar при Р = 0.1 Торр.

Скачать (16KB)
Метаданные
3. Рис. 2. CVD-диаграмма системы Ni(C5H7O2)2 + nO2 + Ar при Р = 0.1 Торр.

Скачать (17KB)
Метаданные

© Российская академия наук, 2024