ТЕХНОЛОГИЯ
| Выпуск | Название | Файл | |
| Том 52, № 2 (2023) | Параметры плазмы и кинетика реактивно-ионного травления SiO2 и Si3N4 в смеси HBr/Cl2/Ar |
 (Rus) |
|
| Ефремов А.М., Бетелин В.Б., Kwon K. | |||
| Том 52, № 2 (2023) | Исследование оптических свойств сверхтонких пленок на основе силицида металлов |
(Rus) |
|
| Керимов Э.А. | |||
| Том 52, № 1 (2023) | Параметры газовой фазы и кинетика реактивно-ионного травления SiO2 в плазме CF4/C4F8/Ar/He |
(Rus) |
|
| Ефремов А.М., Kwon K. | |||
| 1 - 3 из 3 результатов | |||